氣體回收純化裝置是對區熔單晶硅爐排除出的氣體進(jìn)行回收裝置，通過(guò)壓縮機穩壓器進(jìn)入氣體純化裝置進(jìn)行純化處理，使氣體純度達到99.999%以上。
氣體回收裝置一般按照用戶(hù)要求，以非標準型號提供，其處理后純度在99.999%以上。氣體回收裝置是對氫氣、氬氣和氦氣進(jìn)行回收再利用，采用該系列裝置是一項降低生產(chǎn)成本，節約能源，提高經(jīng)濟效益的有力措施。
產(chǎn)品設計特點(diǎn)：1、 采用常壓氫氣回收方式回收氫氣，根據還原爐工作工況設計整個(gè)系統。
2、 回收壓力可以根據產(chǎn)品加工的品種自動(dòng)調整操作壓力。
3、 冷卻過(guò)濾裝置安全可靠，效果明顯。
4、 壓力波動(dòng)小，整個(gè)系統無(wú)論開(kāi)關(guān)爐門(mén)壓力都能保持平衡。
5、 采用變頻技術(shù)，大大降低能耗，保證系統壓力的穩定。
6、 大型回收裝置干燥器內部采用二次分配結構，大大優(yōu)化和提高產(chǎn)品氣性能。
7、 獨特的壓力配合裝置既滿(mǎn)足減壓需要，也提高整個(gè)系統的穩定性。
8、 設置冷凍機組，保證氫氣露點(diǎn)達到-60℃以上。
9、 設置安全連鎖裝置，壓力高低報警連鎖裝置，溫度超高報警裝置，變頻系統和PLC控制系統。
產(chǎn)品技術(shù)指標：1.處理氫氣量： 20～1000 Nm3/h
2、產(chǎn)品氫氣品質(zhì)： 99.999%
3、含氧量 ： ≤3ppm
4、露點(diǎn) ： ≤-60℃
5、預處理工作溫度 ：100-250℃
6、干燥器工作溫度 ：常溫
7、干燥器再生溫度 ：200-300℃
產(chǎn)品應用：氫氣回收裝置主要用于鎢鉬待業(yè)還原工序排出的廢氫，收集廢氫后進(jìn)入預處理系統，經(jīng)增壓后由冷卻水冷卻，汽水分離器分離水分，然后進(jìn)入純化裝置主體部分，對氫氣進(jìn)行精制處理，經(jīng)處理后的氫氣中含氧量≤5ppm，H2O≤10ppm。氫氣回收裝置分為中壓回收和常壓回收，中壓回收氫氣的增壓由壓縮機進(jìn)行，而常壓回收則由羅茨風(fēng)機來(lái)完成。
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